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金属表面処理

金属表面処理[クリーンエス処理]Clean-S Treatment

クリーンエス処理は金属表面の耐食性、耐摩耗性を向上させる表面処理として昭和電工株式会社にて1984年の開発以来、皮膜性能の改良に鋭意検討を加え、種類を増やしてきました。
現在、運用用途としては、半導体製造工程装置・部品関連・一般工業部品にと幅広く使用されています。汎用金属素材(SUS材、アルミニウム材等)の腐食性ガス雰囲気に対する耐食性を付与することを目指してきましたが、耐食性以外の特徴として摺動機械部品に対する耐摩耗効果を保有するタイプもございます。

常温耐食データ

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マイクロビッカース硬度

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クリーンエスの種類と特徴

種類 特徴 適用用途
Hタイプ 腐食性ガスに対する腐食性 分子ポンプ
ガス排気系配管
各種耐食バルブ
Aタイプ 高硬度、耐摩擦性 ドライポンプ
射出成形機スクリュー部品
摺動部部品
金型
AFタイプ Hタイプをさらに性能向上させた
フッ化不動態処理
チャンバー付属部品
L型真空弁
ゲートバルブ
ガス排気系配管
各種バルブ海水・塩害仕様部品類